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PVD基础知识一等离子体——物质第四态
:2020-08-27 22:22:51:

等离子体--物质第四态

       等离子体是存在最广泛的一种物态,目前观测到的宇宙物质中,99%都是等离子体。

那么什么是等离子体呢?我们为大家分享一下等离子体的基本知识,希望能够抛砖引玉,引起各位同行和专家的热烈讨论。

     等离子体(Plasma,又称“电浆”)是对气体施加足够的能量使其电离而产生的离子化气状混合物。等离子体由离子、电子、活性基团、中性粒子、原子、分子、光子等混合物质组成的。等离子体是一种由自由电子和带电离子为主要成分的物质形态,其广泛存在于宇宙中,常被视为除固态、液态或气态之外,物质存在的另一种状态。因此等离子体常被称为物质第四态。

PVD基础知识一等离子体——物质第四态(图1)


    等离子体包括有,几乎相同数量的自由电子和阳极电子。在一个等离子中,其中的粒子已从核心粒子中分离了出来。因此,当一个等离子包括大量的离子和电子,从而是电的最佳导体,而且它会受到磁场的影响,当温度高时,电子便会从核心粒子中分离出来了。一些低温等离子体技术也在以往气体放电和电弧技术的基础上,进一步得到应用与推广,如等离子体切割、焊接、喷镀、磁流体发电,等离子体化工,等离子体冶金,以及火箭的离子推进等,都推动了对非完全电离的低温等离子体性质的研究。

    真空等离子PVD镀膜技术基本原理是在真空条件下,采用低电压、大电流的电弧放电技术,利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离,利用电场的加速作用,使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上。

PVD基础知识一等离子体——物质第四态(图2)